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原子发射光谱仪的激发光源有热激发光源（如火苗）、电激发光源（如电弧和火花）、等离子激发光源（如直流等离子喷焰(DCP)、电感藕合等离子炬(ICP)和微波电感等离子炬(MIP)）、激光光源等。

直读光谱仪选用的多见火花光源，还有小量选用电弧光源解析矿物质或超低含量合金。传统式的火花光源选用电容电感充放电基本原理靠谱的买球网站，电容电感参数确认后，激发波型固定，全部原素均选用一样的激发波型；可是不同试品和不同原素需要不同激发波型靠谱的买球网站，比如激发电位高的原素需要火花型放电波型提供高的激发能量靠谱的买球网站，微量分析需要电弧型放电波型改进蒸发作用靠谱的买球网站，因而传统式火花光源的激发作用较弱靠谱的买球网站。

新式的数字光源选用多高压电源脉冲生成技术，可完成随意激发波型，对于不同原素选用适合的激发波型，取得最好激发作用，以达到不同基体的解析需求靠谱的买球网站，是传统式激发光源无可比拟的。